发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08124930(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940260474 申请日期 1994.10.25
申请人 NEC CORP 发明人 IWATA YUJI
分类号 H01L21/60;H01L21/321;H01L23/12;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址