发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08124914(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940255166 申请日期 1994.10.20
申请人 SONY CORP 发明人 NAIKI TADAHACHI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/824 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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