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发明名称 PARTIAL VAPOR DEPOSITION SEAL
摘要
申请公布号 JPH08123325(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940279769 申请日期 1994.10.20
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 IKEMOTO SEISHI
分类号 C23C14/06;G09F3/02;(IPC1-7):G09F3/02 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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