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发明名称 Process and plant for supplying at least one point of consumption with extremely pure liquid chemicals
摘要
申请公布号 EP0597243(B1) 申请公布日期 1996.05.15
申请号 EP19930116112 申请日期 1993.10.06
申请人 UHDE GMBH 发明人 SCHNEIDER, VOLKER, DIPL.-ING.;GAIL, LOTHAR, DR. DIPL.-ING.;EBERHARD JOST
分类号 B01J4/00;(IPC1-7):B01D37/00;B01D35/00;B01D37/04;F17D3/16;H05K3/06 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
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