| 发明名称 |
PROCESS AND DEVICE FOR MANUFACTURING A SILICON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE WITH AN INTEGRATED WAVEGUIDE COUPLED TO AN OPTICAL FIBRE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0711420(A1) |
申请公布日期 |
1996.05.15 |
| 申请号 |
EP19940922819 |
申请日期 |
1994.07.15 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
SPLETT, ARMIN |
| 分类号 |
A61F5/01;G02B6/30;G02B6/36;H01L21/304;H01L21/306;H01S5/02;(IPC1-7):G02B6/30;H01L21/302 |
主分类号 |
A61F5/01 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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