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发明名称 Substrate transport apparatus
摘要
申请公布号 EP0544311(B1) 申请公布日期 1996.05.15
申请号 EP19920120238 申请日期 1992.11.26
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 FUKUTOMI, YOSHITERU;OHTANI, MASAMI;OKAMOTO, TAKEO
分类号 G02F1/13;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
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