METHOD OF PRODUCING POLYCRYSTALLINE SILICON RODS FOR SEMICONDUCTORS AND THERMAL DECOMPOSITION FURNACE THEREFOR,申请号EP19900909847-传众专利搜索

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发明名称	METHOD OF PRODUCING POLYCRYSTALLINE SILICON RODS FOR SEMICONDUCTORS AND THERMAL DECOMPOSITION FURNACE THEREFOR
摘要
申请公布号	EP0536394(B1)	申请公布日期	1996.05.15
申请号	EP19900909847	申请日期	1990.06.27
申请人	KOMATSU ELECTRONIC METALS CO., LTD	发明人	YATSURUGI, YOSHIFUMI;NAGAI, KENICHI;IZAWA, JUNJI;OHTSUKI, MINORU;MIYAMOTO, YUSUKE
分类号	C01B33/035;C23C16/24;C23C16/46;C30B13/00;C30B15/00;C30B29/06;(IPC1-7):C01B33/035	主分类号	C01B33/035
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