形成部分分离薄膜元件条的方法

摘要

一种方法，使得操作各个薄膜元件引起损坏最小，所公开的这种方法给出了完整的滑块条的结构，这种滑块可从二种方法中一种来确定：晶片处理或条处理，以在器件各单元之间形成部分切割，这样得到的部分切割，在制作以后，如在检验和包装以后保持着条的结构，但是允许在装配以前能很容易的分离完整的滑块。

主权项

1.在薄膜元件条内，形成部分切割的方法，包括步骤：在预先确定厚度的晶片上有第一和第二平面的表面，所说的第一平面的表面包括很多器件，以行和列阵列淀积在上面，在所说第一平面的表面上，首先形成很多预定深度的槽，每个槽靠近所说器件列的一个；从所说晶片上切割所说器件条，每条包括很多器件单元，通过在附近槽上施加很小切断力，单元能从所说条上分离。