发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER ANALOGEN INTEGRIERTEN HOCHGESCHWINDIGKEITSSCHALTUNG UNTER VERWENDUNG VON LOKALEN LEITUNGSVERBINDUNGEN AUS SILIZID
摘要
申请公布号 AT137609(T) 申请公布日期 1996.05.15
申请号 AT19910400478T 申请日期 1991.02.21
申请人 FRANCE TELECOM 发明人 BONIS, MAURICE
分类号 H01L21/822;H01L21/768;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/088;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/82;G11C11/401 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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