| 发明名称 |
VACUUM TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08117583(A) |
申请公布日期 |
1996.05.14 |
| 申请号 |
JP19940258352 |
申请日期 |
1994.10.24 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
WAKAMATSU NORIHISA;KODAMA NORIO |
| 分类号 |
B01J3/02;B01J19/18;C23C14/56;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B01J3/02 |
主分类号 |
B01J3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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