发明名称 DEVICE FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH08119786(A) 申请公布日期 1996.05.14
申请号 JP19940284255 申请日期 1994.10.24
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP 发明人 TAKASAKI YOSHIHIRO;MACHIDA TSUNEHISA;FURUYA HISASHI
分类号 C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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