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发明名称 FILM FORMATION BY SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH08120447(A) 申请公布日期 1996.05.14
申请号 JP19940258114 申请日期 1994.10.24
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 MIKURIYA TETSUO;TAKAHASHI HIDEJI
分类号 C23C14/34;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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