| 发明名称 |
METHOD FOR CONTROLLING OXYGEN CONTENT OF SILICON CRYSTALS USING A COMBINATION OF CUSP MAGNETIC FIELD AND CRYSTAL AND CRUCIBLE ROTATION RATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR960006260(B1) |
申请公布日期 |
1996.05.13 |
| 申请号 |
KR19920014595 |
申请日期 |
1992.08.13 |
| 申请人 |
MEMC ELECTRONIC MATERIALS INC. |
发明人 |
FREDERICK, ROGER ALLEN |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B15/20;C30B15/22;C30B15/30;C30B29/06;C30B30/04;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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