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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Musterdimensionen.
摘要
申请公布号 DE69112090(T2) 申请公布日期 1996.05.09
申请号 DE19916012090T 申请日期 1991.02.07
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KAGA, YASUHIRO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;KOMATSU, FUMIO, FUCHU-SHI, TOKYO-TO, JP
分类号 G01B15/00;(IPC1-7):G01B15/04;H01J37/26 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
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