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经营范围
发明名称
Einrichtung und Verfahren zur Behandlung von Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号
DE69024077(T2)
申请公布日期
1996.05.09
申请号
DE1990624077T
申请日期
1990.01.29
申请人
GASONICS, INC., SUNNYVALE, CALIF., US
发明人
BOITNOTT, CHARLES, HALF MOON BAY CALIFORNIA 94019, US
分类号
H01L21/31;C30B33/00;H01L21/316;(IPC1-7):C30B33/00;C30B29/06
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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