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发明名称 Elektrostatische isolierte Spannvorrichtung und Erregunsgsverfahren
摘要
申请公布号 DE69302028(D1) 申请公布日期 1996.05.09
申请号 DE19936002028 申请日期 1993.01.11
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 COLLINS, KENNETH S., SAN JOSE, CA 95112, US;GRITTERS, EDWARD ALLEN, FELTON, CA 95018, US
分类号 B23Q3/15;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):H01L21/00;B61D39/00 主分类号 B23Q3/15
代理机构 代理人
主权项
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