| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Durchführungen (4) elektrischer Leitungen (5) durch gasdichte Verbindungen (3) zwischen Glas- und Siliziumelementen (1 und 2) o.dgl. mittels elektrostatischem Bonden und gasdichte Durchführungen (4) durch solche Verbindungen (3) und einen Drucksensor mit einer solchen Durchführung (4). Bei einer Variante ist der Leiter (5) mit bestimmter Länge (1) überdeckt und höchstens (d) dick; bei einer anderen Variante ist der Leiter (5) selbst unterbrochen und der Unterbrechung ist p- oder n-dotiertes Silizium zur elektrischen Verbindung gegenübergestellt.</p> |
