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发明名称
Verfahren zur Abscheidung von einem Aluminium als Hauptbestandteil enthaltenden metallischen Film mittels eines Alkylaluminiumhydrids.
摘要
申请公布号
DE69023724(T2)
申请公布日期
1996.05.09
申请号
DE19906023724T
申请日期
1990.09.07
申请人
CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
MIKOSHIBA, NOBUO, TAIHAKU-KU, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP;TSUBOUCHI, KAZUO, TAIHAKU-KU, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP;MASU, KAZUYA, TAIHAKU-KU, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP
分类号
C23C16/42;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/42
主分类号
C23C16/42
代理机构
代理人
主权项
地址
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