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发明名称 DEVICE FOR DETECTING SEMICONDUCTOR CHIP POSITION
摘要
申请公布号 KR960006193(B1) 申请公布日期 1996.05.09
申请号 KR19910024339 申请日期 1991.12.26
申请人 SHARP K.K. 发明人 NAKAMURA, CHUNICHI;OKANISHI, MAMORU;YAMACHAKI, MASAO
分类号 H01L21/52;G01D5/34;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
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