双面保护硅集成微振动陀螺

摘要

双面保护硅集成微振动陀螺是一种用于角速率精密测量的半导体惯性传感器，它由集成双框架结构的硅片和玻璃电极组成，两者之间采用直接静电键合连接，硅片采用两种晶向不同的硅片直接键合构成，其中一层构成双框架结构，另一层为保护层并与玻璃电极构成双面保护结构，硅集成双框架结构采用各向异性腐蚀成凹凸结构，具有可靠性和灵敏度高、体积小、成本低、效率高等特点，工艺适合规模化生产，可广泛用于各种角速率测量场合。

主权项

1、一种用于角速率精密测量的硅集成微振动陀螺，由集成双框架结构的硅片和玻璃电极组成，其特征在于集成双框架结构的硅片与玻璃电极之间采用直接键合连接，集成双框架结构的硅片为两种晶向不同的硅片直接键合构成，其中一层构成双框架结构，另一层为保护层并与玻璃电极构成双面保护结构。