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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING DEFECT ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SURFACE
摘要
申请公布号 KR960006194(B1) 申请公布日期 1996.05.09
申请号 KR19920004903 申请日期 1992.03.26
申请人 TOSHIBA K.K. 发明人 MIYAHSITA, MORIYA;KAGEYAMA, MOKUJI;HIRATSUKA, HACHIRO
分类号 G01B11/30;C30B33/00;G01N21/88;G01N21/93;H01L21/66;H01S3/00;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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