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发明名称 Plasmageneraattori
摘要
申请公布号 FI945233(A) 申请公布日期 1996.05.08
申请号 FI19940005233 申请日期 1994.11.07
申请人 VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS 发明人 ROINE, JOHANNES;HARJU, TIINA
分类号 G01N27/62;H01J49/10;H05H;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
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