发明名称 |
A METHOD OF COATING A PIEZOELECTRIC SUBSTRATE WITH A SEMI-CONDUCTING MATERIAL AND A METHOD OF PRODUCING A DROPLET EJECTOR ARRANGEMENT INCLUDING THE COATING METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0628091(B1) |
申请公布日期 |
1996.05.08 |
申请号 |
EP19930905696 |
申请日期 |
1993.02.01 |
申请人 |
MARKPOINT DEVELOPMENT AB |
发明人 |
VONASEK, JIRI;LARSSON, STIG-GOERAN;ANDERSSON, OVE |
分类号 |
C23C16/24;B41J2/045;B41J2/055;B41J2/16;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/24 |
主分类号 |
C23C16/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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