| 发明名称 |
Method and device for removing excess material from a sputtering chamber |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0441368(B1) |
申请公布日期 |
1996.05.08 |
| 申请号 |
EP19910101670 |
申请日期 |
1991.02.07 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC. |
发明人 |
SOMEKH, SASSON;MAYDAN, DAN |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/22;C23C14/56;C23F4/00;(IPC1-7):C23C14/22;C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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