| 发明名称 | 用于供给光致抗蚀剂的系统 | ||
| 摘要 | 一种用于供给光致抗蚀剂的系统，包括：一个用于保存光致抗蚀剂的存储容器；一个用于从存储容器中接收光致抗蚀剂的层叠过滤器，它具有一个适于从中排放光致抗蚀剂的排放管；和一个回流管，它连接在层叠过滤器的排放管与存储容器之间，用于使从层叠过滤器中排出的光致抗蚀剂回流至存储容器中。 | ||
| 申请公布号 | CN1121845A | 申请公布日期 | 1996.05.08 |
| 申请号 | CN95102906.1 | 申请日期 | 1995.01.28 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 金文佑;金定坤;朴庆信;申东和 |
| 分类号 | B05C21/00 | 主分类号 | B05C21/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 姜华 |
| 主权项 | 1.一种光致抗蚀剂供给系统，包括：一个存储容器，用于保存光致抗蚀剂；一个层叠过滤器，用于从存储容器接收光致抗蚀剂，并具有一个适于从层叠过滤器中排放光致抗蚀剂的排放管；和一个回流管，它连接在层叠过滤器的排放管与存储容器之间，用于使从层叠过滤器中排出的光致抗蚀剂回流至存储容器中。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||