发明名称 CLEANING DEVICE FOR ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH08115868(A) 申请公布日期 1996.05.07
申请号 JP19940252243 申请日期 1994.10.18
申请人 NIKON CORP 发明人 MACHINO KATSUYA
分类号 G03B27/52;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03B27/52
代理机构 代理人
主权项
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