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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08116031(A) 申请公布日期 1996.05.07
申请号 JP19940277012 申请日期 1994.10.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 ARAI ISAO
分类号 H01L21/822;H01L27/04;H01P1/00;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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