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发明名称
DEPOSITION OF THIN FILM CONTAINING SI AND FORMATION OF PATTERN
摘要
申请公布号
JPH08115978(A)
申请公布日期
1996.05.07
申请号
JP19940252236
申请日期
1994.10.18
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
SAKATA YOSHIKAZU
分类号
H01L21/768;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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