发明名称 DEPOSITION OF THIN FILM CONTAINING SI AND FORMATION OF PATTERN
摘要
申请公布号 JPH08115978(A) 申请公布日期 1996.05.07
申请号 JP19940252236 申请日期 1994.10.18
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAKATA YOSHIKAZU
分类号 H01L21/768;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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