发明名称 LEAK DETECTION METHOD FOR INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH08115963(A) 申请公布日期 1996.05.07
申请号 JP19940275964 申请日期 1994.10.13
申请人 SONY CORP 发明人 TATESHIMO YASUSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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