| 发明名称 |
SINGLE-CRYSTAL SILICON WAFER, AND MANUFACTURE OF SINGLE CRYSTAL SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08115918(A) |
申请公布日期 |
1996.05.07 |
| 申请号 |
JP19940276001 |
申请日期 |
1994.10.14 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
GOTO SHINJI;TAJIRI TOMOAKI;WATANABE NORIHITO |
| 分类号 |
H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 |
主分类号 |
H01L21/322 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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