RESIST APPLICATION DEVICE,申请号JP19940251942-传众专利搜索

发明名称	RESIST APPLICATION DEVICE
摘要
申请公布号	JPH08115867(A)	申请公布日期	1996.05.07
申请号	JP19940251942	申请日期	1994.10.18
申请人	HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD	发明人	KURIHARA MASAHIRO;KUROIWA KEIZO;UEHARA MICHIYO
分类号	G03F7/16;B05C5/00;B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03F7/16
代理机构		代理人
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