发明名称
摘要
申请公布号 JP3023923(U) 申请公布日期 1996.05.07
申请号 JP19950012523U 申请日期 1995.10.19
申请人 发明人
分类号 B44C5/06;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):B44C5/06 主分类号 B44C5/06
代理机构 代理人
主权项
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