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经营范围
发明名称
LOW-PRESSURE CVD APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH08115885(A)
申请公布日期
1996.05.07
申请号
JP19940276116
申请日期
1994.10.14
申请人
SONY CORP
发明人
MAKIMOTO SHINSAKU
分类号
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
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