发明名称 |
Protein-based semiconductor integrated circuit |
摘要 |
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申请公布号 |
AU3443195(A) |
申请公布日期 |
1996.05.02 |
申请号 |
AU19950034431 |
申请日期 |
1995.10.23 |
申请人 |
KABUSHIKI KAISHA SANGI |
发明人 |
SHUJI SAKUMA;KIMINORI ATSUMI;TSUTOMU ISHIZAKI |
分类号 |
H01L29/43;C23C14/06;H01L21/28;H01L21/314;H01L51/30 |
主分类号 |
H01L29/43 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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