发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden aus der Gasphase
摘要
申请公布号 DE3751755(D1) 申请公布日期 1996.05.02
申请号 DE19873751755 申请日期 1987.06.30
申请人 NIHON SHINKU GIJUTSU K.K., CHIGASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KUSUMOTO, YOSHIRO, CHIGASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;TAKAKUWA, KAZUO, CHIGASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;IKUTA, TETSUYA, CHIGASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;SUZUKI, AKITOSHI, CHIGASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;NAKAYAMA, IZUMI, SUMIREDAIRA HIRATSUKA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C23C16/04;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/285 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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