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发明名称
KATHODENZERSTÄUBUNGSGERÄT UND KATHODENZERSTÄUBUNGSANLAGE.
摘要
申请公布号
DE69023633(T2)
申请公布日期
1996.05.02
申请号
DE19906023633T
申请日期
1990.09.12
申请人
SONY CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
IKEDA, JIRO CBS SONY GROUP INC. 1561-2, AIKAWA, SHIDA-GUN SHIZUOKA-KEN 421-02, JP
分类号
C23C14/34;C23C14/56;G11B7/26;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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