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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von elektronischen Teilen
摘要
申请公布号 DE19540471(A1) 申请公布日期 1996.05.02
申请号 DE19951040471 申请日期 1995.10.30
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP;ORGANO CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 AOKI, HIDEMITSU, TOKIO/TOKYO, JP;NAKAMORI, MASAHARU, TOKIO/TOKYO, JP;YAMANAKA, KOJI, TODA, SAITAMA, JP;IMOAKA, TAHASHI, TOKIO/TOKYO, JP;FUTATSUKI, TAKASHI, TOKIO/TOKYO, JP;YAMASHITA, YUKINARI, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 B08B3/08;C02F1/42;C02F1/44;C02F1/461;C02F9/00;C11D3/02;C25B1/04;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B3/08;C23G1/02;C23G1/14;H01L21/302;H05K3/26 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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