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发明名称
Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten in einer Handhabungsebene eines lokalen Reinraumes
摘要
申请公布号
DE4310149(C2)
申请公布日期
1996.05.02
申请号
DE19934310149
申请日期
1993.03.29
申请人
JENOPTIK GMBH, 07743 JENA, DE
发明人
LAHNE, BERNDT, 07747 JENA, DE;HEITMANN, MICHAEL, 07747 JENA, DE;SCHULTZ, KLAUS, 07745 JENA, DE;GAGLIN, AXEL, 07747 JENA, DE;SCHELER, WERNER, 07743 JENA, DE
分类号
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07;F24F7/00
主分类号
B65G49/07
代理机构
代理人
主权项
地址
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