发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilmtransistors
摘要
申请公布号 DE4409201(C2) 申请公布日期 1996.05.02
申请号 DE19944409201 申请日期 1994.03.17
申请人 GOLDSTAR ELECTRON CO., LTD., CHEONGJU, KR 发明人 CHOI, JONG MOON, SEOUL/SOUL, KR
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L27/12 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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