发明名称 Vorrichtung zur Untersuchung der Röntgenstrahlung.
摘要
申请公布号 DE68924481(T2) 申请公布日期 1996.05.02
申请号 DE19896024481T 申请日期 1989.01.20
申请人 KANEGAFUCHI CHEMICAL INDUSTRY CO., LTD., OSAKA, JP 发明人 NAKAYAMA, TAKEHISA, KOBE-SHI HYOGO-KEN, JP;HAYASHI, AKIMINE, KOBE-SHI HYOGO-KEN, JP;KONDO, MASATAKA, AMAGASAKI-SHI HYOGO-KEN, JP;MURAKAMI, SATORU, KOBE-SHI HYOGO-KEN, JP;YAMAGUCHI, MINORI, AKASHI-SHI HYOGO-KEN, JP;TAWADA, YOSHIHISA, KOBE-SHI HYOGO-KEN, JP;HOSOMI, MASAHIKO, KOBE-SHI HYOGO-KEN, JP
分类号 G01T1/20;H01L31/0232;H01L31/0392;H01L31/105;(IPC1-7):G01T1/00;G01T1/24 主分类号 G01T1/20
代理机构 代理人
主权项
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