发明名称 电镀方法及金属箔之制造装置及电镀用分割型不溶性电极
摘要 本发明乃有关铜箔等之长尺寸金属箔之电镀方法及金属箔之制造装置以及电镀所用之分割型不溶性电极之改良者。本发明之目的乃在提供;维护及修整可容易进行,且可获得膜厚参差不齐之现象少,阳极寿命长之电解铜箔等之金属箔所用之电镀方法,以及其所使用之分割型不溶性电极者。本发明之特征乃在:于阴极鼓轮之旋转驱动方向之规定位置,隔着挸定间隙相对向配置阳极,对其通电以便在前述阴极鼓轮析出铜等之金属并加以剥离,以获得电解铜箔等之金属箔之情况下;阀金属基体使用被覆有白金族( platinum group)之金属或其氧化物之复数电极片,并在底板(backing plate)5以上顺次配置电极片1成为沿阴极鼓轮之旋转轨迹之状态,以便与前述底板5导通,及使前述电极片1成为装卸可能之状态者(参阅图1)。
申请公布号 TW275089 申请公布日期 1996.05.01
申请号 TW082100405 申请日期 1993.01.21
申请人 东电化股份有限公司 发明人 大江一英;川幸雄;中田弘之
分类号 C25D17/10;C25D17/12 主分类号 C25D17/10
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1. 一种电镀方法,系以5-15mm之间隔配置旋转阴极鼓 轮 7和于此阴极鼓轮7之周缘同心配置之固定阳极10, 在阴极鼓轮7与阳极10之间供给含有金属之电镀液, 在阴极鼓轮7与阳极10之间通电,在阴极鼓轮7析出 金属, 将所析出之金属从阴极7加以剥离,以获得长尺寸 之电解 金属箔8等工程所成之电镀方法中;其特征为: 前述阳极10乃由被覆有白金族之金属或其氧化物 之阀金属 基体所形成;并含有被配置在圆周上之向鼓轮轴方 向延伸 之复数之电极片1,及底板(backing plate)5;底板5之中 ,对应固定于电极片1之螺栓3,设有贯穿孔,于底板5 之 阴极鼓轮相反侧处,做为一体化于电极片1之给电 导体之 螺栓3则介由垫圈65,以螺帽6锁紧,电极片1系可由底 板5 拆下,并与前述底板5导通之构成者。2. 如申请专 利范围第1项所述之电镀方法,其中,前述金 属箔8乃为铜箔,其厚度为70m以下者。3. 如申请 专利范围第1项所述之电镀方法,其中,在前述 阴极鼓轮7与前述阳极10之间供给含有金属之电镀 液之工 程中,向阴极鼓轮7与阳极10之间注入电镀液,于对 向于 前述阴极鼓轮7之表面上,前述电极片1乃以 0.1-5mm之距离离间者。4. 一种分割型不溶性电极, 主要在:被配置于旋转阴极 鼓轮7之周缘,与阴极鼓轮7之间亦区划形成有流路, 而在 此流路亦填满含有金属之电镀液,使阴极鼓轮7上 析出金 属,再加以剥离以形成金属箔所用之分割型不溶性 电极中 ;其特征为: 前述电极10乃由被覆有白金族之金属或其氧化物 之阀金属 基体所形成,并含有:被配置在圆周上之复数电极 片1, 及底板5(backing plate),及于底板5固定电极片1,设有 对应于电极片1之贯穿孔,于与底板5之阴极鼓轮之 相反侧 ,做为一体化于电极片1之给电导体,将前述电极片1 装卸 自如地连结于前述底板2上之导电性固定具等构成 者。5. 如申请专利范围第4项所述之分割型不溶性 电极,其中 ,前述电极片1乃各形成圆弧状之面,并与阴极鼓轮7 被配 置成同心状态者。6. 如申请专利范围第4项所述之 分割型不溶性电极,其中 ,前述电极片1乃在圆弧表面上以0.1-5mm之距离离间 者 。7. 一种电镀装置,其特征为备有:被构造成旋转 在轴之 周围之阴极7, 以及与被配置在阴极7周缘之阴极鼓轮7之间形成 有流路之 固定阳极10;前述阳极10亦由白金族之金属或其氧 化物之 阀金属基体所形成,并含有:被配置在圆周上之复 数之电 极片1,及底板(backing plate)2,及将前述电极片1连结 于前述底板上成装卸自如之导电性固定具等; 且由:将含有金属之电镀液供给至阴极鼓轮7与阳 极10之 间之流路之机构, 及向阴极鼓轮7与阳极10之间通电,于阴极鼓轮7上 析出金 属之机构, 及从阴极鼓轮7剥离析出金属,以获得长尺寸之电 解金属 箔8之机构等所构成者。8. 如申请专利范围第7项 所述之电镀装置,其中,向前述 流路供给电镀液之机构,乃含有经过流路注入电镀 液之机 构,并含有充满浸渍前述阴极鼓轮7及阳极10之电镀 液之 槽者。9. 如申请专利范围第7项所述之电镀装置, 其中,前述电 极片1乃各被区划形成圆弧状之表面,而被配置成 与阴极 鼓轮7形成同心状态,在前述圆弧表面上,前述电极 片1乃 以0.1-5mm之距离离间者。10. 如申请专利范围第7项 所述之电镀装置,其中,将一 对之阳极10配置在阴极7之周围成同心状态,以及从 垂直 断面投视,乃形成占有鼓轮之轴周围之第2及第3之 四分圆 之状态者。11. 如申请专利范围第7项所述之电镀 装置,其中,阳极 10之圆弧之夹角乃对鼓轮7之轴形成45-120@bs3者。12 . 如申请专利范围第7项所述之电镀装置,其中,阳 极 与阴极鼓轮之间之流路,乃具有10mm之径方向之距 离,前 述金属乃为铜,前述电镀金属箔则为厚度70m以下 之铜 箔者。图示简单说明: [图1]表示本发明之分割型不溶性电极之1例之斜视 图。 [图2]图1之Ⅱ—Ⅱ线部分断面图。 [图3]表示本发明之分割型不溶性电极之其他例子 之斜 视图。 [图4]图3之Ⅳ—Ⅳ线部分断面图。 [图5]表示本发明之分割型不溶性电极之其他例子 之斜 视图。 [图6]图5之Ⅵ—Ⅵ线部分断面图。 [图7]图5之电极片平面图。
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