APPARATUS FOR THE TREATMENT OF SEMICONDUCTOR WAFERS IN A FLUID,申请号EP19940923476-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR THE TREATMENT OF SEMICONDUCTOR WAFERS IN A FLUID
摘要
申请公布号	EP0708981(A1)	申请公布日期	1996.05.01
申请号	EP19940923476	申请日期	1994.07.15
申请人	LEGACY SYSTEMS, INC.	发明人	MATTHEWS, ROBERT, ROGER
分类号	B08B3/10;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/12;B65D85/84;C02F1/32;C02F1/72;C02F1/78;C23G5/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	B08B3/10
代理机构		代理人
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