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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08111399(A) 申请公布日期 1996.04.30
申请号 JP19940243740 申请日期 1994.10.07
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMAZAKI SHINJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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