PATTERNING METHOD FOR LAMINATED WIRING,申请号JP19940245800-传众专利搜索

发明名称	PATTERNING METHOD FOR LAMINATED WIRING
摘要
申请公布号	JPH08111401(A)	申请公布日期	1996.04.30
申请号	JP19940245800	申请日期	1994.10.12
申请人	SONY CORP	发明人	YANAGIDA TOSHIHARU
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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