发明名称 FORMATION OF CAPACITANCE
摘要
申请公布号 JPH08111505(A) 申请公布日期 1996.04.30
申请号 JP19940271687 申请日期 1994.10.11
申请人 YOZAN:KK;SHARP CORP 发明人 KOTOBUKI KOKURIYOU;MOTOHASHI KAZUNORI;TAKATORI SUNAO;YAMAMOTO MAKOTO
分类号 H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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