首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08111297(A) 申请公布日期 1996.04.30
申请号 JP19940248767 申请日期 1994.09.17
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 GOTO NAOHISA;ANDO MAKOTO;ISHII NOBUO
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com