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发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08111381(A) 申请公布日期 1996.04.30
申请号 JP19940268192 申请日期 1994.10.06
申请人 SONY CORP 发明人 SAKAMOTO OSAMU
分类号 C23C14/24;C23C14/56;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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