| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING INTENSITY OF CLUSTER BEAM AND CLUSTER SIZE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08111197(A) |
申请公布日期 |
1996.04.30 |
| 申请号 |
JP19940244414 |
申请日期 |
1994.10.07 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN;AYUMI KOGYO KK |
发明人 |
ABE TAIZO;YAMADA AKIRA |
| 分类号 |
H01J27/20;H01J37/04;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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