| 发明名称 |
DEFECT INSPECTION APPARATUS FOR GLASS SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08110516(A) |
申请公布日期 |
1996.04.30 |
| 申请号 |
JP19940247618 |
申请日期 |
1994.10.13 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
ROKKAKU TADASHI;TAURA RYOJI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/94;G01N21/958;G02F1/1333;(IPC1-7):G02F1/133 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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