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发明名称 INTEGRATED CIRCUIT AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08111377(A) 申请公布日期 1996.04.30
申请号 JP19940246299 申请日期 1994.10.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OKU YUUKI;KASAI NOBUYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/06;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8232;H01L23/522;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/40;(IPC1-7):H01L21/06;H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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